微波等離子體的特點(diǎn)

微波等離子體的特點(diǎn)

　?。ǎ保┗钚詮?，微波等離子體對氣體的電離和離解程度比其他類(lèi)型的等離子體（如電弧等離子體）高１０倍。因此，微波等離子體更能增強氣體分子的激發(fā)、電離和離解過(guò)程，激發(fā)的亞穩態(tài)原子多。例如氮在直流及射頻放電時(shí)，用光譜方法測不出有氮原子譜線(xiàn)，但在微波等離子體中都出現氮譜線(xiàn)。說(shuō)明氮在直流和射頻放電中，即使能分解成氮原子，也只是激發(fā)態(tài)的氮。

 ?。ǎ玻┓磻獏^內沒(méi)有電極，因此，消除了電極自身造成的污染。適合于作高純度物質(zhì)的制備和處理，而且工藝效率更高。

　 （３）反應區內的壓力能在很寬范圍進(jìn)行調整。

 ?。ǎ矗┪⒉ǖ入x子體中自由電子的溫度高于離子的溫度，因此，通過(guò)適當的電磁場(chǎng)、氣壓、氣體種類(lèi)的選擇和調整，可控制反應區中的溫度范圍。

 ?。ǎ担├梦⒉姶艌?chǎng)的分布特點(diǎn)，即所謂“空洞結構”，有可能把等離子體封閉在特定的空間；也可以利用磁場(chǎng)來(lái)輸送等離子體，這樣做的目的是讓工藝加工區域與放電空間分離這樣一來(lái)，即便于采取各種相宜的工藝措施，又能避免等離子體的輻射損傷或消除可能產(chǎn)生的某些副反應。

  　由于具有上述的特點(diǎn)，微波等離子體在材料的合成、燒結、沉積和浸蝕、表面處理等方面。